Projekte

Semiconductor 300

300mm DRAM · 9.740 m² Reinraum

Leistungen
— Fabrik Design
— Konzeptplanung Prozesssysteme
— Projektabwicklung
— Genehmigungen Immissionsschutz

Gewerke
— Chemiever- und entsorgung
— CMP
— Reinstwasser
— Abwasserbehandlung
— Grund- und Sondergase
— Toxische Abluft

Dresden · Deutschland · 2000/01
© ams

AMS 2000

200mm Logik · 3.170 m² Reinraum

Leistungen
— Fabrik Design
— Konzeptplanung Prozesssysteme
— Projektabwicklung

Gewerke
— Chemieversorgung
— Chemieentsorgung
— CMP
— Reinstwasser
— Abwasserbehandlung
— Grundgase
— Sondergase

Unterpremstätten · Österreich · 2001/02
Advanced Mask Technology Center

Lithographie Masken · 3.200 m² Reinraum

Leistungen
— Projekt-Baumanagement
— Genehmigungen Immissionsschutz

Gewerke
— Chemieversorgung
— Chemieentsorgung
— CMP
— Reinstwasser
— Abwasser
— Grundgase
— Sondergase

Dresden · Deutschland · 2002/03